受動イオン注入プレーナシリコン(PIPS®)検出器の取り付けと寸法
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検出器サイズ(mm2) | 有効直径(mm) | 軸X(mm) | ラジアルX(mm) |
---|---|---|---|
25 | 5.7 | 16.7 | 19.4 |
50 | 8 | 16.7 | 19.4 |
100 | 11.3 | 23.6 | 26.1 |
150 | 13.8 | 23.6 | 26.1 |
200 | 16 | 28.6 | 31.6 |
300 | 19.5 | 28.6 | 31.6 |
450 | 23.9 | 32 | 34.8 |
490 | 25 | 33.4 | データなし |
600 | 27.6 | 36.1 | 38.4 |
900 | 33.9 | 45.2 | 50 |
1200 | 39.1 | 48.8 | 53 |
1700 | 46.5 | 59 | データなし |
2000 | 50 | 65.5 | 70 |
3000 | 61.8 | 76.2 | 80 |
5000 | 79.8 | 94 | データなし |